技術(shù)編號：5269838
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及電容式壓力傳感器，具體涉及，屬于微機械電子。背景技術(shù)在現(xiàn)代工業(yè)生產(chǎn)、科學(xué)研究及日常生活中，凡是利用液體、氣體或蒸汽等作為傳遞介質(zhì)的都要體現(xiàn)壓力的作用。為了保證生產(chǎn)和科研能正確控制、順利實施，需要利用壓力傳感器來指示壓力的有無、大小和變化等情況。其中，電容式壓力傳感器因其低功耗、高靈敏度、高輸出阻抗、以及良好的動態(tài)響應(yīng)特性等優(yōu)點，已成為壓力傳感器研究的一大熱點。電容式壓力傳感器的基本結(jié)構(gòu)由兩部分組成，即包括固定電極8的基片B和包括可動電極9的膜片A...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。