技術(shù)編號：5269833
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及MEMS傳感器，具體是一種基于RTS (共振隧穿結(jié)構(gòu))的MEMS面內(nèi)高g 加速度傳感器。背景技術(shù)現(xiàn)有MEMS高g加速度傳感器的結(jié)構(gòu)多采用懸臂梁-質(zhì)量塊結(jié)構(gòu)，在懸臂梁上設(shè)置 敏感元件，由質(zhì)量塊敏感加速度。主要用于測量與傳感器所在平面垂直方向上的加速度，即 當(dāng)傳感器受到垂直于本身的加速度作用時(shí)，質(zhì)量塊將在加速度方向上產(chǎn)生與加速度大小對 應(yīng)的位移，此時(shí)懸臂梁將會發(fā)生彎曲變形，并在其表面產(chǎn)生拉應(yīng)力(或壓應(yīng)力)，進(jìn)而致使位 于懸臂梁表面的敏感元件的阻值增大...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。