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取用teos的pecvd制備納米涂層的方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5269466

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本發(fā)明提出了一種取用TEOS的PECVD制備納米涂層的方法,以紡織材料為基材,以經(jīng)過加熱汽化后的TEOS氣體為工作氣體,同時通入氧氣,產(chǎn)生等離子體在基材表面沉積覆膜,本發(fā)明的有益效果在于不僅具用抗紫外線的功能,可以有效的保護(hù)皮膚,而且納米涂層的透氣性和親水性都很好,這種紡織材料穿在身上,既透氣又吸汗,穿者會感到非常舒適,所有過程都是在真空中完成,處理制程時間短,工藝簡單,效率極高,且整個反應(yīng)過程完全清潔和環(huán)保,本發(fā)明所制備的一種類似納米二氧化硅的薄膜,這種...
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