技術(shù)編號(hào)：5269403
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了，該方法包括在襯底表面制備網(wǎng)狀負(fù)膠微結(jié)構(gòu)；將該網(wǎng)狀負(fù)膠微結(jié)構(gòu)從襯底上剝離并平鋪在固體正膠襯底上，此固體正膠襯底放置于導(dǎo)電基底上；通過熱壓的方法，將該網(wǎng)狀負(fù)膠微結(jié)構(gòu)嵌入該固體正膠襯底表層，同時(shí)將該固體正膠襯底粘附在導(dǎo)電基底上；對(duì)上述表層已嵌入網(wǎng)狀負(fù)膠微結(jié)構(gòu)并已粘附在導(dǎo)電基底上的固體正膠襯底，在預(yù)設(shè)的掩模板下進(jìn)行曝光、顯影，得到光刻膠微結(jié)構(gòu)。利用本發(fā)明，通過在正性光刻膠襯底表面熱壓一層網(wǎng)狀負(fù)膠微結(jié)構(gòu)，使得其經(jīng)過曝光、顯影后，得到的光刻膠微結(jié)構(gòu)中各個(gè)...
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