技術(shù)編號：5269255
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。根據(jù)本發(fā)明的實施例，一種微機電系統(tǒng)(MEMS)器件，包括第一板；第二板，布置在所述第一板上方；和第一可移動板，布置在所述第一板和所述第二板之間。MEMS器件進一步包括第二可移動板，布置在所述第一可移動板和所述第二板之間。專利說明MEMS器件、接口電路及其制作方法[0001]相關(guān)申請的交叉引用[0002]本申請要求2013年7月18日提交的美國臨時申請N0.61/847，874的優(yōu)先權(quán)，這里通過引用將其并入本文。 [0003]本發(fā)明總體涉及微機電系統(tǒng)(...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。