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一種峰值摻雜結(jié)合對(duì)稱線性摻雜結(jié)構(gòu)的碳納米場(chǎng)效應(yīng)管的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5269247

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本發(fā)明公開了一種峰值摻雜結(jié)合對(duì)稱線性摻雜結(jié)構(gòu)的碳納米場(chǎng)效應(yīng)管,構(gòu)建了適用于峰值摻雜結(jié)合對(duì)稱線性摻雜結(jié)構(gòu)的碳納米場(chǎng)效應(yīng)管的輸運(yùn)模型,利用該模型分析計(jì)算了HALO-Linear摻雜策略對(duì)碳納米場(chǎng)效應(yīng)管電學(xué)特性的影響。通過與采用其他摻雜策略CNTFET的電學(xué)特性對(duì)比分析,發(fā)現(xiàn)這種摻雜結(jié)構(gòu)的碳納米場(chǎng)效應(yīng)管具有更大的開關(guān)電流比、更低的泄漏電流、更小的亞閾值擺幅,更高的截止頻率和更小的延遲時(shí)間,即表明采用HALO-Linear摻雜策略的CNTFET具有更好的柵控能力,...
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