技術(shù)編號(hào):5269128
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開(kāi)了一種用于微納米顆粒表面修飾的裝置,包括反應(yīng)腔,其內(nèi)部形成的空腔用于作為前驅(qū)體與微納米顆粒的反應(yīng)空間;多個(gè)前驅(qū)體供應(yīng)裝置,其分別通過(guò)管道與所述反應(yīng)腔相通以提供不同的前驅(qū)體;載氣輸送系統(tǒng),前驅(qū)體通過(guò)該載氣輸送系統(tǒng)輸出的載氣輸送到反應(yīng)腔中;以及粉體顆粒裝載裝置,用于承載待修飾的微納米顆粒;通過(guò)多個(gè)前驅(qū)體供應(yīng)裝置分別向反應(yīng)腔交替地輸送前驅(qū)體,并進(jìn)入旋轉(zhuǎn)的粉體顆粒裝載裝置中以與微納米顆粒表面接觸進(jìn)行原子層沉積反應(yīng),從而在微納米顆粒的表面形成包覆薄膜,實(shí)現(xiàn)...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。