技術(shù)編號：5269127
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。一種以減少或消除應(yīng)變從基板至結(jié)構(gòu)，或者應(yīng)變至電極和主體的傳遞以使得變換器為耐應(yīng)變的傳遞方式，來機械錨定懸浮電極的MEMS結(jié)構(gòu)的技術(shù)將MEMS設(shè)備從應(yīng)變源解耦。該技術(shù)包括使用嵌入至傳導(dǎo)結(jié)構(gòu)材料中的電絕緣材料以用于機械地耦合和電絕緣。一種裝置包括MEMS設(shè)備，該MEMS設(shè)備包括第一電極和第二電極以及從MEMS設(shè)備的基板懸浮的主體。主體和第一電極形成第一靜電變換器。主體和第二電極形成第二靜電變換器。所述裝置包括機械地耦合至主體并與主體電隔離的懸浮無源元件。專利說...
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