技術(shù)編號：5269123
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了一種基于薄膜體聲波諧振器的MEMS紅外傳感器，及其制備方法，依次包括金屬塊、壓電振蕩堆和聲波反射層；壓電振蕩堆和金屬塊依次沉積在聲波反射層上，壓電振蕩堆包括依次沉積在聲波反射層上的底電極、壓電層、上電極；上電極位于紅外傳感器表面即稱為紅外窗口薄膜，其材質(zhì)為具有紅外透射率的導(dǎo)電薄膜，便于紅外光線透過上電極照射在壓電層上；聲波反射層包括基片、基片上沉積的支撐層、以及基片與支撐層之間的空氣腔；壓電振蕩堆沉積在支撐層上；本發(fā)明中MEMS紅外傳感器的尺寸...
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