技術(shù)編號(hào)：5268876
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及。 背景技術(shù)微懸臂梁結(jié)構(gòu)是一種最簡單的微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)器件，它結(jié)構(gòu)簡單且易于 大批量制造。近來，基于懸臂梁結(jié)構(gòu)的傳感器已經(jīng)被廣泛應(yīng)用于化學(xué)和生物檢測領(lǐng)域。目 前，懸臂梁的信號(hào)讀出方式主要包括光學(xué)方法和壓阻方法兩種。光學(xué)讀出方法具有靈敏度 高、器件結(jié)構(gòu)簡單等優(yōu)點(diǎn)，但是光學(xué)讀出方法一般需要非常昂貴的設(shè)備，調(diào)試較為困難，而 且由于光路調(diào)試的問題，難以實(shí)現(xiàn)陣列化的測試。壓阻讀出方法具有器件結(jié)構(gòu)簡單、直接電 學(xué)輸出等優(yōu)點(diǎn)，使用方便，而且容易實(shí)現(xiàn)陣...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。