技術(shù)編號(hào):5268774
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開一種圖形外延模板,用以對(duì)準(zhǔn)自組裝嵌段聚合物,所述嵌段聚合物適于自組裝為具有平行于第一軸線延伸、沿正交的第二軸線相互間隔開并且通過(guò)連續(xù)第二區(qū)域或域分開的不連續(xù)第一區(qū)域或域的平行行的二維陣列。所述圖形外延模板具有基本上平行的第一和第二側(cè)壁,所述第一和第二側(cè)壁平行于第一軸線延伸并且限定第一軸線并且沿第二軸線相互間隔開以提供間隔區(qū),該間隔區(qū)適于保持處于襯底上側(cè)壁之間并且平行于側(cè)壁的至少一行不連續(xù)第一區(qū)域或域,并且通過(guò)連續(xù)第二區(qū)域或域與其分開。所述間隔區(qū)具...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。