技術(shù)編號(hào)：5268652
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒(méi)有賬戶(hù)請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明提供一種微機(jī)電裝置，其包含至少一基板、一電極、以及一振膜。其中，電極設(shè)置于基板上且具有多個(gè)孔位。振膜設(shè)置于電極上方且平行于電極，且與電極形成一電容式傳感器，振膜上方及／或下方具有多個(gè)突肋，多個(gè)突肋對(duì)應(yīng)于多個(gè)孔位而錯(cuò)位設(shè)置且不接觸電極。此外，本發(fā)明亦提供此微機(jī)電裝置的一制作方法。專(zhuān)利說(shuō)明[0001]本發(fā)明涉及一種微機(jī)電裝置，特別是利用其中振膜上多個(gè)突肋以提升振膜平面度，進(jìn)而提升感測(cè)外來(lái)聲壓效果的微機(jī)電裝置。背景技術(shù)[0002]微機(jī)電裝置因體積小、靈敏度...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專(zhuān)利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專(zhuān)利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專(zhuān)利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。