技術(shù)編號：5268641
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明公開了一種液體多層電容傾斜微傳感器，包括至少兩對差動電極，每對差動電極位于相同平面；至少一個(gè)共同電極，該共同電極的一部分與各對差動電極位于同一平面；該差動電極與該共同電極位于一密閉空間中；以及封入該密閉空間的覆蓋液體；其中，該差動電極的輪廓分別形成圓形的一部分。該傳感器還可包括感測電路。本發(fā)明還公開了該傳感器的制造方法。專利說明液體多層電容傾斜微傳感器[0001]本發(fā)明涉及一種傾斜角傳感器，特別是關(guān)于一種液體多層電容傾斜傳感器。現(xiàn)有技術(shù)[0002]水...
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