技術(shù)編號：5268620
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明公開了一種非制冷光讀出紅外成像焦平面陣列探測器制作方法，該制作方法以多犧牲層技術(shù)為基礎(chǔ)，在透明襯底上制作可動微懸臂梁陣列，利用微懸臂梁陣列的熱——機械特性檢出目標物體的紅外輻射場分布。該制作方法可解決傳統(tǒng)硅襯底上制作的非制冷紅外焦平面陣列器件制作工藝復(fù)雜、封裝困難等問題，同時該制作方法制作的焦平面陣列探測器既避免了硅襯底對于目標物體紅外輻射能量影響，提高系統(tǒng)紅外輻射利用率，避免復(fù)雜的體硅去除工藝，更加易于圓片級封裝。專利說明[0001]本發(fā)明涉及紅外...
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