技術(shù)編號：5268332
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及微機電系統(tǒng)(MEMS)，尤其涉及一種三角形結(jié) 構(gòu)的微懸臂梁傳感器及其制作方法，特別是關(guān)于一種應(yīng)用于生物、化學(xué)傳 感中的帶有方形反光板的三角形結(jié)構(gòu)的微懸臂梁傳感器及其制作方法。io背景技術(shù)微懸臂梁結(jié)構(gòu)是一種最簡單的微機電系統(tǒng)(MEMS)，它易于進行微 加工以及大量生產(chǎn)。近年來，將高靈敏度的微懸臂梁技術(shù)應(yīng)用于生物、化 學(xué)的實時探測成為傳感器領(lǐng)域的研究熱點。這類傳感器可以在氣態(tài)或者液態(tài)條件下探測微量生化分子的存在。例15如空氣中的有機氣體、有害氣體、芳...
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