技術(shù)編號：5268297
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及用于檢測加速度等的物理量的，尤其涉及采用壓電(piezo)電阻元件作為檢測元件的傳感器及其制造 方法。背景技術(shù)近年，對采用MEMS (凝機電系統(tǒng)Micro Electromechanical Systems )技術(shù)的小型傳感器進行開發(fā)，使檢測加速度等物理量的傳感 器以各種用途用于便攜電話或游戲機等，此外，對于應(yīng)用進行研究。 這種傳感器例如采用具有硅層/氧化硅層/硅層的3層結(jié)構(gòu)的SOI晶片來 制作，例如具備框架，該框架具有以挖通SOI晶片的方式形成...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。