技術(shù)編號：5268091
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及的是一種微機電技術(shù)(MEMS)領(lǐng)域的微陀螺，具體地說，涉及的 是一種利用電磁和電荷弛豫工作的懸浮轉(zhuǎn)子微陀螺儀。 背景技術(shù)MEMS器件具有微小化、低成本、低能耗、可批量化的特點，近年來，各國 的學(xué)者、工程師嘗試設(shè)計和制造懸浮轉(zhuǎn)子MEMS微陀螺。在過去的二十多年的時 間里，國內(nèi)外應(yīng)用硅的表面微細加工技術(shù)或者體微細加工技術(shù)加工出了很多種振 動陀螺，但由于種種原因微振動陀螺很難達到傳統(tǒng)陀螺的高精度。經(jīng)過對現(xiàn)有技術(shù)的文獻檢索發(fā)現(xiàn)，中國專利號為2004100...
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