技術(shù)編號(hào)：5267893
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及的是一種微電子的裝置及制備方法，具體是一種多通道碳納 米管傳感器及其制備方法。背景技術(shù)傳感器作為實(shí)現(xiàn)自動(dòng)檢測(cè)和自動(dòng)控制系統(tǒng)的首要環(huán)節(jié)，已經(jīng)廣泛滲透到如工業(yè)生 產(chǎn)、環(huán)境保護(hù)、醫(yī)學(xué)診斷、生物工程等領(lǐng)域。現(xiàn)代傳感器的研發(fā)進(jìn)展取決于用于傳感器技術(shù) 的新材料和敏感元件的開發(fā)，半導(dǎo)體以及介質(zhì)材料的應(yīng)用為發(fā)展的主要趨勢(shì)。碳納米管 (CNT)自1991年被Iijima發(fā)現(xiàn)以來，便以其獨(dú)特的物理化學(xué)性質(zhì)如獨(dú)特的金屬性半導(dǎo)體 導(dǎo)電機(jī)制和半導(dǎo)體性質(zhì)、良好的吸附能力、較...
注意：該技術(shù)已申請(qǐng)專利，請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。