技術(shù)編號：5267867
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及半導(dǎo)體制造，特別涉及一種。 背景技術(shù)MEMS(Microelectromechanical System，微機電系統(tǒng))技術(shù)是指對微米/納米 (micro/nanotechnology)材料進行設(shè)計、加工、制造、測量和控制的技術(shù)。MEMS是由機械構(gòu)件、光學(xué)系統(tǒng)、驅(qū)動部件、電控系統(tǒng)集成為一個整體單元的微型系統(tǒng)。MEMS通常應(yīng)用在位置傳感器、旋轉(zhuǎn)裝置或者慣性傳感器中，例如加速度傳感器、陀螺儀和聲音傳感器。對于MEMS器件由于尺寸非常小，通常在微米量級，...
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