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抗震裝置及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5267861

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本發(fā)明涉及微電子電路芯片及微電子機(jī)械系統(tǒng)(Micro ElectroMechanical systems, MEMS)可動(dòng)器件,尤其涉及一種。背景技術(shù)近年來(lái),隨著半導(dǎo)體加工技術(shù)的日益提高,MEMS得到了快速發(fā)展,特別是具有高性 能、高集成和高智能等特點(diǎn)的光MEMS應(yīng)用日趨活躍,逐步涵蓋了全光通訊、圖像顯示、慣性 檢測(cè)、紅外傳感器、圖像探測(cè)器、生物檢測(cè)等重要領(lǐng)域。在光MEMS器件中,高精度關(guān)鍵部件對(duì)光進(jìn)行精密機(jī)械運(yùn)動(dòng)操作發(fā)揮著至關(guān)重要 的作用。目前,光MEM...
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