技術(shù)編號(hào):5267563
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微機(jī)電系統(tǒng),具體地說,本發(fā)明涉及一種用于超高靈敏探測(cè) 的微納懸臂梁結(jié)構(gòu)的制作方法。背景技術(shù)微納懸臂梁結(jié)構(gòu)是超高靈敏探測(cè)傳感器的核心組元,如掃描力顯微鏡中中的力傳 感器和單光子探測(cè)系統(tǒng)中的超高靈敏諧振器等等,在最近的十幾年已經(jīng)有大量的研究致力 于開發(fā)不同需求的微懸臂梁結(jié)構(gòu)。懸臂梁結(jié)構(gòu)通常包括針尖1、懸臂梁2和支撐單元3三部 分,其中,針尖用于實(shí)現(xiàn)與樣品的微觀相互作用(少數(shù)懸臂梁結(jié)構(gòu)中也可以沒有針尖),懸 臂梁是懸臂梁結(jié)構(gòu)的彈性部分,支撐單元用于固定...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。