技術(shù)編號：5267518
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及ー種蓋、其制造方法和由此制作的MEMS(微機(jī)電系統(tǒng))封裝體，并且更具體地涉及ー種具有金屬化凹陷的蓋、其制造方法和由此制成的對MEMS具有增強(qiáng)的屏蔽效果的MEMS封裝體。背景技術(shù)MEMS器件(比如麥克風(fēng))廣泛使用于移動(dòng)通信設(shè)備、音頻設(shè)備等中。為了實(shí)現(xiàn)小型化，通常稱為電容式麥克風(fēng)的用于作為聽カ輔助単元使用的麥克風(fēng)在尺寸上減小。然而，其中的換能器是脆弱的且易于受到物理損壞。另外，由于環(huán)境可能擾動(dòng)信號傳輸，所以必須保護(hù)換能器免受光和電磁干擾。另外，只要考...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。