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三維結(jié)構(gòu)體及其制造方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5267426

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本發(fā)明涉及使用MEMS (Micro Electro Mechanical Systems)技術(shù)或 NEMS (Nano Electro Mechanical Systems)技術(shù)三維形成的結(jié)構(gòu)體及其制造方法,尤其是涉及向彈性 體內(nèi)配置具有可動結(jié)構(gòu)的微小三維結(jié)構(gòu)體要素的元件和使用該元件構(gòu)成的三維結(jié)構(gòu)體、以 及它們的制造方法。背景技術(shù)在機(jī)器人技術(shù)的研究、開發(fā)中,利用機(jī)械手如何可靠地控制對象物成為一個重要 的課題。具體而言,若著眼于通過機(jī)械手抓取對象物的動作,...
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