技術(shù)編號：5267177
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種薄膜器件的結(jié)構(gòu)及其制造方法，更確切地說，涉及一種基于(100)硅片采用雙面對穿腐蝕制造薄膜器件結(jié)構(gòu)及方法。屬于微電子機(jī)械 系統(tǒng)(MEMS)領(lǐng)域。背景技術(shù)近年來，各種薄膜器件，如紅外探測器、紅外光源和微型面加熱器等， 己經(jīng)在公共安全、醫(yī)學(xué)診斷、環(huán)境監(jiān)測、工業(yè)控制、天文研究等領(lǐng)域中逐步 得到應(yīng)用，并日益受到人們的關(guān)注。隨著應(yīng)用的不斷推廣，對薄膜器件的低 成本、低功耗、高性能、高可靠的要求也日益強(qiáng)烈。采用目前日臻成熟的 MEMS技術(shù)，利用穩(wěn)定可靠的...
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