技術(shù)編號：5267114
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及微機電和微電子器件及其制造方法，具體涉及慣性器件，例如要求有垂懸質(zhì)量的加速計或陀螺儀。本發(fā)明也涉及封裝和密封具有深絕緣溝槽的、由晶片構(gòu)成的器件，且涉及與微機電和微電子器件電連接的方法。背景技術(shù) 目前制造的微機電慣性器件被用于多種應(yīng)用，包括汽車氣囊和慣性導(dǎo)航向?qū)到y(tǒng)。對于如汽車氣囊這樣的應(yīng)用，慣性器件如加速計，需要既精確又便宜。微機電加速計通過使用類似于或同于在集成電路制造中使用的制造工藝步驟而形成于襯底上。微機電器件將電氣和機械功能組合到一個器件...
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