技術(shù)編號：5266961
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明提出了一種基于懸臂梁式的微波功率耦合器及其制備方法，屬于微電 子機械系統(tǒng)(MEMS)的。背景技術(shù)微波功率耦合器是微波測量以及其它微波系統(tǒng)中的常用器件，我們通常使用 定向耦合器對微波功率進行耦合。定向耦合器是一種具有方向性的微波功率分配 器件，通常有波導(dǎo)、同軸線、帶狀線及微帶線等幾種類型。定向耦合器包含主線 和副線兩部分，在主線中傳輸?shù)奈⒉üβ释ㄟ^小孔或間隙等耦合途徑，將一部分 功率耦合到副線中去。對于X到K波段的微波信號常常使用微帶線耦合器。通過對現(xiàn)...
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