技術編號：5266949
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明是關于MEMS的制備技術，具體涉及一種MEMS密封封裝方法。 背景技術在微電子技術的基礎上發(fā)展而來的微機電系統(tǒng)(以下簡稱MEMS)技術是一個新興的多 學科交叉的高科技領域，相應的MEMS器件產品將在國民經(jīng)濟和國家安全等方面發(fā)揮越來越 重要的作用。對于MEMS微型器件，無論結構尺寸還是氣隙都非常小，通常在微米量級，此 時即便是環(huán)境中普通的水分、灰塵等微小顆粒對MEMS器件都可能是致命的，因此往往需要 密封封裝，為其穩(wěn)定的工作、高的可靠性、小的漂移以及抵...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。