技術(shù)編號：5266905
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種應(yīng)用MEMS (Micro Electro Mechanical System)技術(shù)的電子部件及其制造方法以及應(yīng)用它的電子裝置。背景技術(shù)隨著電子機器的小型、薄型化的發(fā)展，對應(yīng)用MEMS技術(shù)的電子部 件和電子裝置已經(jīng)進行了開發(fā)。這種電子裝置的例子有感應(yīng)開關(guān)、駐極 體式電容話筒(以下簡稱為"ECM")等。在一個ECM的構(gòu)成部件中， 存在駐極體電容?，F(xiàn)有的感應(yīng)開關(guān)和駐極體電容，具有在使用了樹脂、陶瓷等的臺座 上，粘接如聚酰亞胺那樣的可撓性有機膜所組...
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