技術(shù)編號(hào):5266898
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒(méi)有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種薄膜感應(yīng)構(gòu)件,特別是涉及一種微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System)的感應(yīng)構(gòu)件及具有該感應(yīng)構(gòu)件的麥克風(fēng)元件。冃夙漢不MEMS技術(shù)常應(yīng)用于制造鵬動(dòng)器(actuator)及敏則器(sensor)等元件,戶腿 元件主要具有一薄膜結(jié)構(gòu),并借由薄膜產(chǎn)生震動(dòng)作為訊號(hào)轉(zhuǎn)換的介質(zhì),所以薄膜的 震動(dòng)敏感度為影響所述元件品質(zhì)優(yōu)劣的重要因素之一。如圖1所示,以應(yīng)用于麥克風(fēng)元件的感應(yīng)構(gòu)件9為例,感應(yīng)構(gòu)件9包括一薄膜91...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。