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微機(jī)電系統(tǒng)的感應(yīng)構(gòu)件及麥克風(fēng)元件的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5266898

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本發(fā)明涉及一種薄膜感應(yīng)構(gòu)件,特別是涉及一種微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS, Micro-Electro-Mechanical System)的感應(yīng)構(gòu)件及具有該感應(yīng)構(gòu)件的麥克風(fēng)元件。冃夙漢不MEMS技術(shù)常應(yīng)用于制造鵬動(dòng)器(actuator)及敏則器(sensor)等元件,戶腿 元件主要具有一薄膜結(jié)構(gòu),并借由薄膜產(chǎn)生震動(dòng)作為訊號(hào)轉(zhuǎn)換的介質(zhì),所以薄膜的 震動(dòng)敏感度為影響所述元件品質(zhì)優(yōu)劣的重要因素之一。如圖1所示,以應(yīng)用于麥克風(fēng)元件的感應(yīng)構(gòu)件9為例,感應(yīng)構(gòu)件9包括一薄膜91...
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