技術(shù)編號(hào)：5266886
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁(yè)查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及。 背景技術(shù)環(huán)氧基負(fù)性光刻膠一SU-8光刻膠，被廣泛用于微機(jī)電系統(tǒng)領(lǐng)域，用于制作具有 高深寬比的三維微結(jié)構(gòu)的生物芯片(BIOMEMS)。當(dāng)三維結(jié)構(gòu)中微槽的深度和寬度 的比值比較大時(shí)，加工有一定難度，而且深寬比越大加工難度越大。由于SU-8具 有較好的光刻性能，是能夠?qū)崿F(xiàn)幾十微米厚度高深寬比微結(jié)構(gòu)的有限幾種材料之SU-8光刻膠另一個(gè)應(yīng)用是在基片上形成高深寬比的微加工圖形，構(gòu)成電鑄厚金 屬的掩模，在金屬電鍍方面，比如凸點(diǎn)加工等方面具有很廣泛的應(yīng)用。在...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。