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一種雙諧振梁式微機(jī)械壓力傳感器的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5266878

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本發(fā)明屬于微機(jī)電系統(tǒng),涉及一種雙諧振梁式微機(jī)械壓力傳感器。技術(shù)背景壓力傳感器是一種航空、航天等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用的對(duì)大氣壓力進(jìn)行測量的傳感器。諧振式 微機(jī)械壓力傳感器由于體積小、質(zhì)量輕、動(dòng)態(tài)響應(yīng)快、抗干擾能力強(qiáng)、測量精度高而非常適 合航空航天應(yīng)用,成為國內(nèi)外研究熱點(diǎn)。目前,國外已有許多科研機(jī)構(gòu)在進(jìn)行相關(guān)研究并有 相關(guān)產(chǎn)品問世,典型的產(chǎn)品有英國DRUCK公司Greenwood等人J.C.Greenwood and D."W.Satchell, Miniature ...
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