技術(shù)編號(hào):5266878
提示:您尚未登錄,請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載,如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ,登陸完成后,請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微機(jī)電系統(tǒng),涉及一種雙諧振梁式微機(jī)械壓力傳感器。技術(shù)背景壓力傳感器是一種航空、航天等領(lǐng)域廣泛應(yīng)用的對(duì)大氣壓力進(jìn)行測量的傳感器。諧振式 微機(jī)械壓力傳感器由于體積小、質(zhì)量輕、動(dòng)態(tài)響應(yīng)快、抗干擾能力強(qiáng)、測量精度高而非常適 合航空航天應(yīng)用,成為國內(nèi)外研究熱點(diǎn)。目前,國外已有許多科研機(jī)構(gòu)在進(jìn)行相關(guān)研究并有 相關(guān)產(chǎn)品問世,典型的產(chǎn)品有英國DRUCK公司Greenwood等人J.C.Greenwood and D."W.Satchell, Miniature ...
注意:該技術(shù)已申請(qǐng)專利,請(qǐng)尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出,在未取得專利權(quán)人授權(quán)前,僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán),增加技術(shù)思路,做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備,不適合論文引用。