技術(shù)編號：5266877
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種利用梳狀驅(qū)動器的微機(jī)電裝置，特別涉及在角度垂直梳狀驅(qū)動器控 制下的可傾斜的光學(xué)微鏡陣列。背景技術(shù)靜電驅(qū)動的光學(xué)微機(jī)電裝置(MEMS)中主要要解決的是獲得相對大的旋轉(zhuǎn)角同 時降低驅(qū)動電壓，尤其在開關(guān)軸(switching axis),即"鋼琴(piano)"軸或Y軸。常 規(guī)的雙軸微機(jī)電(MEMS)裝置，例如于2005年8月23日授予Miller等人的美國專利 第6,934,439號和于2006年8月22日授予Mala等人的美國專利第7,095,...
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