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一種以聚酰亞胺為機(jī)械載體的薄膜微橋結(jié)構(gòu)及制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5266876

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本發(fā)明屬于微機(jī)電系統(tǒng),具體涉及一種以聚酰亞胺為機(jī)械載體的薄膜微橋結(jié)構(gòu),特別是用于測(cè)輻射熱計(jì)陣列單元的、以聚酰亞胺為機(jī)械載體的薄膜微橋結(jié)構(gòu)。背景技術(shù)根據(jù)探測(cè)原理不同,紅外探測(cè)器可分為光子探測(cè)器和熱探測(cè)器兩類。光子探測(cè)器探測(cè)靈敏度高、響應(yīng)速度快,但它優(yōu)良的探測(cè)性能是以復(fù)雜的制冷設(shè)備做保障的,使其在低功耗、低重量等要求的應(yīng)用中受到限制。相對(duì)于光子探測(cè)器而言,紅外熱探測(cè)器具有響應(yīng)波段寬,無(wú)需制冷,可在常溫下工作的優(yōu)點(diǎn)。特別是上世紀(jì)90年代以來(lái),兼具紅外輻射敏感和信...
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