技術(shù)編號：5266761
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微制造，特別涉及微電鑄金屬模具的尺寸精度的控制 方法。背景技術(shù)SU-8膠是一種近紫外光、環(huán)氧型負(fù)光刻膠，由于其光敏性較好，吸收系數(shù) 較小，而且能夠得到高深寬比和近乎垂直的側(cè)壁結(jié)構(gòu)等優(yōu)點(diǎn)，在MEMS(微機(jī)電 系統(tǒng))領(lǐng)域得到廣泛的應(yīng)用。采用SU-8膠作為膠模的微電鑄工藝，其鑄層尺寸精 度的影響因素包含微電鑄時SU-8膠的熱溶脹效應(yīng)、紫外線曝光時的菲涅耳衍 射，以及掩膜版的加工精度，其中，SU-8膠的熱溶脹效應(yīng)是主要因素，而且膠 模越厚，熱溶脹度越大，...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。