技術(shù)編號(hào)：5266735
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明大體上涉及微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)，且更特定來說，涉及干涉式調(diào)制器和包 含此些干涉式調(diào)制器的顯示裝置。 背景技術(shù)微機(jī)電系統(tǒng)(MEMS)包括微機(jī)械組件、致動(dòng)器和電子器件?？墒褂贸练e、蝕刻和 或蝕刻掉襯底和/或所沉積的材料層的部分或添加層而形成電氣和機(jī)電裝置的其它微機(jī) 械加工工藝來制造微機(jī)械組件。 一種類型的MEMS裝置被稱為干涉式調(diào)制器。如本文 中所使用，術(shù)語干涉式調(diào)制器或干涉光調(diào)制器是指一種使用光學(xué)干涉的原理來選擇性地 吸收和/或反射光的裝置。在一些實(shí)...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。