技術(shù)編號：5266554
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。一種MEMS微鏡雙穩(wěn)態(tài)結(jié)構(gòu)的制作方法及光開關(guān)本發(fā)明屬于微機(jī)電系統(tǒng)領(lǐng)域，涉及一種MEMS微鏡雙穩(wěn)態(tài)結(jié)構(gòu)的制作方法及包含由該方法制得的雙穩(wěn)態(tài)結(jié)構(gòu)的光開關(guān)。背景技術(shù)MEMS (Micro-electro-mechanical systems),即微機(jī)電系統(tǒng),是利用微加工技術(shù)制造出來的各種微型器件或系統(tǒng)，主要包括微型機(jī)構(gòu)、微型傳感器、微型執(zhí)行器和相應(yīng)的處理電路等，它是在融合多種微細(xì)加工技術(shù)，并應(yīng)用現(xiàn)代信息技術(shù)的最新成果的基礎(chǔ)上發(fā)展起來的高科技前沿學(xué)科。相對于傳統(tǒng)的...
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