技術(shù)編號：5266231
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細信息。本發(fā)明涉及微電子機械系統(tǒng)氣體傳感器和電子聚合物敏感材料領(lǐng)域，具體涉及一種基于“微井”的氣體傳感器陣列及其制作方法。背景技術(shù)對混合氣體的分析是科學(xué)研究、生產(chǎn)過程和環(huán)境檢測的一個重要環(huán)節(jié)。由于氣體傳感器存在著交叉敏感、選擇性差等缺點，因此在混合氣體中很難有選擇地測量出某種氣體的成分和含量?；跉怏w傳感器陣列和模式識別的電子鼻系統(tǒng)是解決氣體傳感器交叉敏感性的重要途徑，其中氣體傳感器陣列是電子鼻技術(shù)中最為核心的器件。利用MEMS(Micro-Electro-Mec...
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