技術(shù)編號：5266065
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微加工，特別涉及。背景技術(shù)微機(jī)電系統(tǒng)(Microelectro mechanical system,MEMS)是指由微機(jī)械加工技術(shù)制作的包括微機(jī)械傳感器和執(zhí)行器等微機(jī)械基本部件，以及微能源和由集成電路加工技術(shù)制作的高性能電子集成線路組成的微機(jī)電器件、裝置或系統(tǒng)。自上世紀(jì)八十年代出現(xiàn)以來，作為ー門新興的、高新技術(shù)的多領(lǐng)域交叉學(xué)科，微機(jī)電系統(tǒng)受到國內(nèi)外研究人員廣泛地關(guān)注，被譽(yù)為新世紀(jì)引領(lǐng)微電子產(chǎn)業(yè)發(fā)展的新技術(shù)革命。經(jīng)過近三四十年的發(fā)展，微機(jī)電系統(tǒng)已經(jīng)...
注意：該技術(shù)已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權(quán)人授權(quán)前，僅供技術(shù)研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。