技術編號：5265963
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于焊接和材料納米加工領域，具體涉及。背景技術微納米技術已被越來越廣泛地應用于人們的日常生活中。傳統(tǒng)的微納米元器件的加工方法，如光刻技術，采用的是一種自上而下的加工方法，其基本原理是通過光化學反應使光罩上的外形結構轉移到基質表面上，通過在基質上涂布光刻膠、曝光、顯影、刻蝕、去膠等步驟得到微納米結構。該方法步驟繁多、操作復雜，而且基本只適用于平面微納米結構的制備。對于具有三維結構的微納米結構，光刻制備方法一般采取逐層疊加的方法，即先經過上述描述的光刻步...
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