技術編號：5265958
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及MEMS壓阻式絕對壓力傳感器，具體涉及一種梁膜單島結(jié)構微壓高過載傳感器芯片。背景技術隨著微機械電子系統(tǒng)技術的發(fā)展，MEMS微壓傳感器已被廣泛應用于風洞測試，生物醫(yī)電及石油化工等領域，尤其在航天，這種對傳感器體積、重量有嚴格要求的領域，MEMS 傳感器無疑是十分理想的選擇。隨著航天技術的發(fā)展，我國目前的MEMS微壓傳感器主要還停留在KPa級上，并不能滿足航天領域?qū)a級微壓測量的需求，也不能適應航天領域的工作環(huán)境，不能滿足航天領域?qū)ι罡呖瘴壕_測...
注意：該技術已申請專利，請尊重研發(fā)人員的辛勤研發(fā)付出，在未取得專利權人授權前，僅供技術研究參考不得用于商業(yè)用途。
該專利適合技術人員進行技術研發(fā)參考以及查看自身技術是否侵權，增加技術思路，做技術知識儲備，不適合論文引用。