技術(shù)編號：5265865
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及微電子機械系統(tǒng)氣體傳感器及其制備方法。背景技術(shù)隨著MEMS(微電子機械系統(tǒng))技術(shù)的迅速發(fā)展，傳感器的小型化、集成化已經(jīng)成為傳感器發(fā)展的方向。氣體傳感器作為對各種氣體的敏感器件，能檢測各種氣體的成分和濃度，被廣泛應(yīng)用于探測各種有毒有害氣體，各種可燃性氣體，溫室效應(yīng)氣體和污染環(huán)境氣體。目前，MEMS氣體傳感器包括MOSFET型、固體電解質(zhì)型、金屬氧化物型和諧振式等。其中諧振式微梁傳感器由于靈敏度高，穩(wěn)定性好等優(yōu)點，成為氣體傳感器發(fā)展和研究的重要方向之...
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該專利適合技術(shù)人員進行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。