技術(shù)編號(hào)：5265711
提示：您尚未登錄，請(qǐng)點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請(qǐng)點(diǎn) 注 冊(cè) ，登陸完成后，請(qǐng)刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及能夠通過檢測從硅基板切出等而形成的重物部的變位量來測定從外部作用的加速度等物理量的物理量傳感器。背景技術(shù)例如，物理量傳感器具備對(duì)硅基板進(jìn)行蝕刻處理而在高度方向上被支承成可變位的重物部。在這種情況下，例如，如下述的專利文獻(xiàn)I至3那樣，在高度方向上變位的重物部(重量部)為被彈簧部支承成擺動(dòng)自如的結(jié)構(gòu)。對(duì)于具備在高度方向上變位的重物部的物理量傳感器而言，為了提高防粘性，例如，在與重物部對(duì)置的對(duì)置部的表面上設(shè)置有多個(gè)突起狀的限位部。各限位部的高度在平面方...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識(shí)儲(chǔ)備，不適合論文引用。