技術編號：5265371
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明屬于化學化工、功能材料、微米和納米加工，特別涉及以斷裂控制法進行制備微彈簧的方法。背景技術隨著技術的發(fā)展，器件的微型化是實現(xiàn)其多功能和集成化的重要途徑，尤其是近年來微流控技術的發(fā)展，小尺寸的微機電系統(tǒng)(MEMS)在耗能少、響應時間短、精確度高、響應速度快等方面顯示出優(yōu)異的性能，從而在精密儀器、生物醫(yī)療和國防科技等領域具有廣闊的應用前景。隨著微器件需求量的日益增長，目前急切需要成熟的加工技術能夠低成本大批量地制備微器件。作為微器件中的最重要部分驅(qū)動裝置...
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