技術編號：5265234
提示：您尚未登錄，請點 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術詳細信息。本發(fā)明涉及半導體器件的制造領域，尤其涉及一種應用于光通信器件、激光顯示和光束掃描等領域的MEMS垂直梳齒微鏡面驅(qū)動器的制作方法。背景技術隨著光纖通信的迅速發(fā)展，智能全光網(wǎng)絡(Automatic Switched OpticalNetwork, AS0N)成為光通信網(wǎng)絡的發(fā)展趨勢。在ASON系統(tǒng)中，為了實現(xiàn)智能全光信號的交換控制，必須對網(wǎng)絡中傳輸?shù)墓庑盘栔苯舆M行動態(tài)控制與監(jiān)測。而實現(xiàn)對光信號的直接動態(tài)控制的核心器件就是各種微電子機械系統(tǒng)(Micro Elec...
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