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數(shù)字微鏡器件及其形成方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5265130

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本發(fā)明涉及投影儀,尤其涉及。 背景技術(shù)DMD(digital mirror device)數(shù)字微鏡器件是一種整合的微機(jī)電上層結(jié)構(gòu)電路單元(MEMS superstructure cell),它是利用CMOS SRAM記憶晶胞所制成。DMD上層結(jié)構(gòu)的制造是從完整CMOS內(nèi)存電路開(kāi)始,再透過(guò)光罩層的使用,制造出鋁導(dǎo)電層和硬化光阻層 (hardened photoresist)交替的上層結(jié)構(gòu),鋁導(dǎo)電層包括地址電極(address electrode)、 絞鏈(h...
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