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微電子機械懸臂梁開關(guān)式微波功率耦合器及其制備方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5265101

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本發(fā)明提出了,屬于微電子機械系統(tǒng)(MEMS)的。背景技術(shù)蘭格耦合器是用于微波功率分配或功率組合的無源器件,與基于耦合線的定向耦合器相比,具有更高的耦合因數(shù)。蘭格耦合器是一種具有方向性的四端口功率耦合器件,它具有輸入端口、直通輸出端口、耦合輸出端口以及隔離端口。傳統(tǒng)的蘭格耦合器采用多個并聯(lián)平行的傳輸線,達(dá)到充分利用邊緣雜散場,實現(xiàn)更加緊的電磁耦合。然而對于這樣的器件,一旦制造完成,其主要性能參數(shù)將不會改變。隨著微波集成電路相關(guān)技術(shù)的提高,現(xiàn)代電子通訊系統(tǒng)朝著...
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