技術(shù)編號：5264787
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明屬于微納機(jī)電系統(tǒng)領(lǐng)域。涉及一種壓阻式微納傳感器及其制備方法。尤其是指一種厚度在納米尺度的硅壓阻雙端固支梁的對雙面表面應(yīng)力的壓阻檢測方法和應(yīng)用。背景技術(shù)近年來，微觀表面形貌、磁場、加速度、化學(xué)分子結(jié)合、生物分子的結(jié)合等信號的檢測需求日益增長，而壓阻式微納傳感器便是檢測工具，其已得到廣泛關(guān)注與深入研究以及應(yīng)用。對于大多數(shù)厚度在微米量級的微機(jī)械梁傳感器，制造壓阻敏感元件的工藝一般采用直接在硅梁上摻雜或沉積多晶硅等方法，可以滿足微機(jī)械梁傳感器高靈敏度的要求。...
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