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一種硅與金屬?gòu)?fù)合材料的微結(jié)構(gòu)加工方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號(hào):5264632

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本發(fā)明涉及一種微細(xì)加工領(lǐng)域;特別是涉及一種硅與金屬?gòu)?fù)合材料的微結(jié)構(gòu)制作方法。背景技術(shù)微納米加工歸根結(jié)底是要在各種功能材料上制作微納米結(jié)構(gòu)。所謂功能材料是能夠制作各種微納米器件的材料,例如硅和二氧化硅是微機(jī)械和微流體系統(tǒng)使用最廣泛的材料,也是半導(dǎo)體工業(yè)的基礎(chǔ)材料。I960年,R. Feymarm在加州理工大學(xué)的一次演講中定義了微機(jī)械的概念。1962年,第一個(gè)硅壓力傳感器問(wèn)世,其后又開(kāi)發(fā)出50 500 um的齒輪、齒輪泵、氣動(dòng)渦輪及連接件等微結(jié)構(gòu)。1982年,...
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