技術(shù)編號：5264532
提示：您尚未登錄，請點(diǎn) 登 陸 后下載，如果您還沒有賬戶請點(diǎn) 注 冊 ，登陸完成后，請刷新本頁查看技術(shù)詳細(xì)信息。本發(fā)明涉及一種用于采集環(huán)境中振動能量的微型電磁式振動能量采集器及其制作方法，采用體硅和表面微機(jī)械相結(jié)合的微細(xì)加工方法制備能量采集器，屬于微電子機(jī)械系統(tǒng)領(lǐng)域。背景技術(shù)微納技術(shù)的發(fā)展，極大地推動了大量新型微納器件與系統(tǒng)的出現(xiàn)，同時也很大程度上推動了微型無線傳感網(wǎng)絡(luò)和通訊節(jié)點(diǎn)的發(fā)展，但是，不管是無線傳感產(chǎn)品還是微納器件，它們的體積不斷減小、功耗逐漸降低，供電問題正成為它們發(fā)展的一個障礙，目前使用的化學(xué)能電池、充電電池或燃料電池等作為電能源，盡管其物質(zhì)轉(zhuǎn)換為電能的...
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該專利適合技術(shù)人員進(jìn)行技術(shù)研發(fā)參考以及查看自身技術(shù)是否侵權(quán)，增加技術(shù)思路，做技術(shù)知識儲備，不適合論文引用。