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一種硅納米線的制作方法技術(shù)資料下載

技術(shù)編號:5264346

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本發(fā)明屬于。背景技術(shù) 硅納米線由于特有的量子限制效應(yīng)、量子隧穿效應(yīng)、庫侖阻塞效應(yīng)等光學、電學性質(zhì)以及高表面活性引起了廣泛關(guān)注。硅納米線在納米傳感器、單電子晶體管、單電子存儲等納米電子器件及合成其他納米材料等方面得到廣泛應(yīng)用,它可成為納米電子學領(lǐng)域的一種極有應(yīng)用潛力的新材料。如果能用硅納米線制備出實用的納米電子器件,將使硅技術(shù)的應(yīng)用從微電子學領(lǐng)域擴展到納米電子學領(lǐng)域,對未來電子器件及整個電子領(lǐng)域的發(fā)展產(chǎn)生不可估量的影響。因此,制作出尺寸可控,均一的硅納米線一...
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